集成电路无尘车间是为了满意半导体制作工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振荡、ESD、AMC操控等都有一定的恳求。相关于其他工业洁净室，集成电路制作无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度操控精度**特性。 集成电路无尘车间规划施工恳求 根据洁净室车间空气循环特性可以将洁净室分为三品种型：循环空调机配合**送风口体系、循环风机配合湿式密封体系和FFU循环体系。 **种方式在小范围低等级恳求的洁净室车间规划中被遍及应用，关于大面积**级的洁净车间则存在工作本钱过高、占用空间过大等缺陷。 第二种方式的规划可以满意集成电路制作无尘车间大面积**级的恳求，但工作本钱较高，而且洁净室风速、风量调度困难，体系晋级改造困难，因此操作灵敏性很低。第三种的FFU循环体系不只俭省工作空间、洁净度安全性高、工作本钱低，而且操作灵敏性很高，可以在不影响消费的状况下随时停止体系晋级和调整，这些都能很好地满意半导体制作的需求，因此在半导体制作业FFU循环体系逐步成为最主要的净化规划计划。 FFU循环体系的特性是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅佐层和回风通道组成，由FFU供应循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超**过滤器送入工艺层和工艺辅佐层，静压层相关于工艺层为负压。此外，还有消费辅佐区为集成电路制作厂务设备区域，包含电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。 集成电路制作对无尘车间环境的操控有较为严峻的恳求。不同的工艺制程对洁净度的恳求也各不相同，例如光刻恳求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只需求1000级的环境即可。 别的，集成电路制作洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规则和恳求，特别是振荡的操控，在洁净室的建筑构造规划上就要有所恳求。